Prvý metal-oxid-polovodičový (MOS) tranzistor vynašiel v roku 1959 Mohamed M. Atalla a Dawon Kahng v Bell Labs. MOSFET (metal-oxide-semiconductor field-effect transistor) vynašli Kahng a Atalla v roku 1959 a prvé komerčné CMOS (komplementárne MOS) zariadenie vyrobila v roku 1968 Fairchild Semiconductor.