Komponent vo vnútri CPU, ktorý pôsobí ako RAM, aj keď v oveľa menšom meradle a oveľa rýchlejšej rýchlosti, je
vyrovnávacia pamäť . Pamäť vyrovnávacej pamäte sa nachádza medzi CPU a hlavnou RAM (systémová pamäť) a ukladá často prístup k údajom a pokynom. To umožňuje CPU prístup k informáciám oveľa rýchlejšie, ako keby ich vždy musel získať z hlavného pamäte RAM.