Aké vybavenie potrebujete pre litografiu?

Zariadenie potrebné pre litografiu do značnej miery závisí od stupnice a typu vykonávanej litografie. Medzi jednoduchým procesom leptania a sofistikovaným zariadením používaným pri výrobe polovodičov je obrovský rozdiel. Tu je porucha kategorizovaná podľa mierky:

i. Hobbyista/vzdelávacia litografia (napr. Ekorezové leptanie na PCB):

* maska: Priehľadný materiál (sklo, plast) s nepriehľadným vzorom, ktorý definuje oblasti, ktoré sa majú vylepšiť. Môže byť vytvorený pomocou laserových tlačiarní a transparentným filmom alebo zakúpeným vopred pripraveným.

* fotorezist: Polymér citlivý na svetlo, ktorý pri vystavení UV svetlu mení jeho vlastnosti (rozpustnosť). Pozitívny fotorezista sa rozpustí u vývojárov * po * UV expozícii; Negatívny fotorezista sa rozpustí * pred * UV expozíciou.

* UV Svetlo zdroja: UV žiarovka alebo jednoduchá jednotka expozície UV (často krabica s UV žiarovkou). Intenzita a čas expozície sú rozhodujúce.

* substrát: Materiál, ktorý leptate (napr. PCB, kremíková doštička). Toto bude potrebné dôkladne vyčistiť.

* Vývojár: Chemický roztok, ktorý odstraňuje exponovaný alebo neexponovaný fotorezista v závislosti od jeho typu.

* Etchant: Chemický roztok, ktorý lepts exponované oblasti substrátu (napr. Chlorid železitý pre meď, KOH pre kremík).

* čistiace zásoby: Acetón, izopropylalkohol (IPA) atď. Na čistenie substrátu a odstránenie zvyškového fotorezistu.

* rukavice a bezpečnostné okuliare: Nevyhnutné na manipuláciu s chemikáliami.

* horúca doska (voliteľné): Pre lepšiu fotorezistickú adhéziu alebo rýchlejší vývoj.

II. Profesionálna/priemyselná litografia (napr. Výroba polovodičov):

Zariadenie je oveľa zložitejšie a drahšie, zahŕňa prostredie čistých miestností a vysoko špecializované stroje:

* fotomask: Mimoriadne presné a drahé masky vytvorené pomocou pokročilých techník.

* Stepper/Scanner: Vysoko sofistikovaný stroj, ktorý premieta vzor z fotomasku na oblátku s extrémne vysokou presnosťou. Toto je jadro litografického procesu vo výrobe polovodičov. Tieto stroje sú neuveriteľne veľké a zložité, stoja desiatky miliónov dolárov.

* expozičný systém: Poskytuje UV (alebo iný) zdroj svetla pre krokový program/skener. To často zahŕňa vysoko špecializované lasery a optické systémy.

* Systémy manipulácie s oblátkami: Roboty a automatizované systémy na pohyb a manipuláciu s doštičkami rôznymi krokmi spracovania.

* zarovnaný systém: Zaisťuje presné zarovnanie vzoru masky s predtým vzorovanými vrstvami na oblátku (kritické pre viacvrstvové štruktúry).

in Automatizované systémy na uplatňovanie fotorezistu, jeho vývoj a kontrolu výsledkov.

* leptaný systém: Vysoko kontrolované systémy na leptanie exponovaných oblastí oblátky. To môže zahŕňať leptanie plazmy alebo chemické leptanie mokra.

* Čisté miestne prostredie: Vysoko kontrolované prostredie na zabránenie kontaminácie doštičiek.

* Metrologické vybavenie: Sofistikované vybavenie na meranie a charakterizáciu funkcií vytvorených na oblátku.

* Systém ukladania a spracovania údajov: Masívne počítačové systémy na riadenie zariadenia a ukladanie a spracovanie obrovského množstva generovaných údajov.

Stručne povedané, vybavenie potrebné pre litografiu sa pohybuje od jednoduchých a lacných nástrojov pre fandovcov až po mimoriadne prepracované a nákladné stroje pre výrobu polovodičov s vysokou objemom. Konkrétne požiadavky závisia výlučne od aplikácie a požadovanej úrovne presnosti.

• Predchádzajúca strana: Kedy sa elektrický písací stroj stal populárnym použitím? 
• Ďalšia strana: Koľko papierových tlačiarní A4 na jednej kartradge tlačiarne HP laserJet?